Descripción del láser excímero
Láser excímero Tipo de dispositivo láser de gas que utiliza el excímero como sustancia de trabajo. Haz de electrones relativista comúnmente utilizado (energía superior a 200 kiloelectrones voltios) o descarga de pulso rápido transversal para lograr la excitación. Cuando los enlaces moleculares inestables del excitador en el estado excitado se rompen y se disocian en átomos en el estado fundamental, la energía del estado excitado se libera en forma de radiación láser.