Introducción básica del sensor de presión MEMS
El sensor de presión MEMS es un elemento de película delgada que se deforma cuando se somete a presión. El medidor de tensión (detección piezoresistive) se puede utilizar para medir esta deformación, o se puede medir sintiendo el cambio en la distancia entre las dos superficies. Estos dos métodos son muy populares, y el sistema de monitoreo de presión de neumáticos utiliza un método piezoresistive más robusto.
